Оборудование для выкачивание газа из рабочего объема 

В нормальных условиях для создания вакуума в вакуумной системе требуется удаление газов, содержащихся в атмосферном воздухе, из данного сосуда или камеры. Таким образом, технология высокого вакуума предполагает разрежение атмосферы на 15 порядков (от 103 до 10-12 мбар). Процесс был бы относительно прост и насос для вакуумной камеры отлично справился, если бы стенки камеры не содержали адсорбированных и растворенных газов. Постоянное газовыделение окклюдированных и адсорбированных газов обычно делает необходимым постоянную откачку, даже если высокий вакуум должен поддерживаться только внутри камеры, в частности в пространстве между двойными стенками термоса. После откачки запаянное пространство должно содержать какие-либо средства удаления газов, например химически активные металлические пленки.

Масляные и безмасляные промышленные вакуумные насосы являются наиболее экономичными в диапазоне низкого вакуума. Основные преимущества этих насосов: воздушное охлаждение (не требуется дополнительный подвод воды), возможность откачки паров, небольшой расход электроэнергии, уровень вакуума до 99,95% [0,5 мбар(а)] при довольно высокой производительности (от 3 до 2700 м3/ч). Все это делает пластинчато-роторные насосы одними из наиболее востребованных среди множества видов вакуумных насосов

Ссылка на вакуумные насосы - https://goo-gl.su/ifGp